应变式压力传感器的原理是由外界压力(或拉力)引起应变材料的几何形状(长度或宽度)发生变化,然后材料的电阻发生变化。外力的大小可以通过检测这种电阻变化来测量。
压阻压力传感器通常是半导体压力敏感材料。半导体压阻式传感器在受到外力后,其自身的几何形状几乎没有变化,但其晶格参数发生了变化,从而影响了带隙宽度。即使是很小的带隙宽度变化也会引起载流子密度的很大变化,最终导致材料电阻率的变化。
可以看出,虽然两种材料都因外力的变化而表现出电阻变化,但原理不同。此外,应变材料对外力的敏感度远低于半导体压阻材料,后者的敏感度约为前者的100倍。应变材料的特性受温度影响较小,而半导体压阻材料对温度敏感。应变式压力传感器原理上是由于外界压力(或拉力)改变应变材料的几何形状(长度或宽度),进而改变材料的电阻。外力的大小可以通过检测这种电阻变化来测量。
压阻式压力传感器通常是半导体压敏材料。半导体压阻式传感器受到外力后,几何形状几乎不变,但其晶格参数发生变化,从而影响带隙宽度。即使是很小的带隙宽度变化也会引起载流子密度的很大变化,最终导致材料电阻率的变化。
可以看出,虽然两种材料都因外力的变化而表现出电阻的变化,但原理不同。此外,应变材料对外力的敏感度远低于半导体压阻材料,约为前者的100倍。应变材料的特性受温度影响较小,而半导体压阻材料对温度敏感。