半导体变阻器型进气歧管压力传感器(图
1)它由压力转换元件(硅膜片)和放大转换元件输出信号的混合集成电路组成。压力转换元件是由半导体压阻效应制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室,另一面通入进气歧管压力,所以进气歧管内的压力越高,硅膜片的变形越大,其变形与压力成正比。附着在薄膜上的应变电阻器的电阻与其变形成正比变化。利用这一原理,进气歧管中的压力变化可以转换成电信号。
真空波纹管驱动的可变电感进气歧管压力传感器主要由波纹管、铁芯、感应线圈和电子电路组成。波纹管由薄金属板焊接而成,内部抽真空,外部与进气歧管连通。外界压力的变化会使波纹管膨胀和收缩。放置在感应线圈内的铁芯与膜片相连。感应线圈由两个绕组组成,一个绕组与振荡电路相连,在线圈周围产生交流电压和磁场,另一个绕组是感应绕组,产生信号电压。当进气歧管压力变化时,膜片带动铁芯在磁场中运动,使感应线圈产生的信号电压相应变化。信号电压经电子电路检测、整形、放大后作为传感器的输出信号送至ECU。
半导体压电阻抗扩散压力传感器在薄片表面形成半导体变形压力,薄片受外力(压力)变形产生压电阻抗效应,使阻抗变化转化为电信号。
静电电容压力传感器通过使玻璃的固定电极和硅的可移动电极相对而形成电容,并将可移动电极因外力(压力)而变形所引起的静电电容的变化转换成电信号。
(E8Y的工作原理是静电电容模式,其他型号采用半导体模式)。