磨抛机的简化磨削和抛光特性
2014年8月1日星期六
为了简化次摆线研磨和抛光点分布规律，并在这三条平行线上取三条平行线，在上下平行线上取密集的一组点。之后以这些点为圆心，取一个打磨抛光半径或以上三条平行线为半径。这些相互重叠的网状图案将被称为简化的研磨和抛光特性曲线。
为了得到一条好的磨抛机曲线，准确的办法是得到磨抛机在运动中的特性曲线，可以用一条相互平行的直线上的一点代替其轨迹上的每一点，然后以该点为圆心，以磨抛机的半径为圆。
然后用这些点的网格作为元素来代替磨抛轨迹的网格，也可以发现它的一个很大的缺点就是偏差很大，主要是因为工件的运动轨迹是一条连续的圆弧线，实际上是一次性的摆线特征。其主要特点是沿X轴两侧密集，中间稀疏。
简化的研磨抛光机研磨和抛光特性曲线
这是画一条直线上几个点的研磨抛光图的基础。因为绘图时考虑了磨抛机的抛光轨迹，忽略了实际符合内摆线轨迹的点的释放。因此，简化抛光特性曲线的网格与实际复合内摆线轨迹的网格差别较大，只能在一定程度上反映其轨迹的主要特征。
例如，当硅片抛光机作用于硅片时，按照上述方法，硅片的抛光轨迹实际上只是硅片抛光轨迹中的一个粗糙特征，合成运动图简化了轨迹的特征曲线。
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